在超精磨削和镜面磨削中，也容易出现一般磨削中常见的缺陷，但由于超精磨削和镜面的工件粗糙度很低，因此这些缺陷就更相对地突出，必须采用相应措施予以防止，以保证磨削后的工件表面质量。
(1)网柱形工件表面产生波纹。其产生原因是由于有强迫振动和自激振动及砂轮工作表面磨损不均匀。防止措施是：仔细平衡砂轮，必要时安装自动平衡装置；对砂轮架电机安装皮带轮后进行动平衡，使绝对振幅小于(1～2)pm，并在电机座上安装橡胶或木板隔振装置；选配皮带要长短和薄厚一致，使受力均匀，或采用尼龙丝带；修刮导轨，选配滚柱，提高砂轮架的抗振性；砂轮磨钝后应及时修整；适当降低工件和工作台速度，减小横向进给量。
(2)平面工件平面波纹。防止措施是：修刮导轨，提高磨头系统刚度；调整工作台换向撞块或工作台换向阀的节流螺钉，以减小工作台换向冲击；修整砂轮时，把金刚石安装在工作台面上；减小垂直进给量。其余同上。
(3)圆柱工件和平面工件表面出现划伤和划痕。产生原因是：切削液不清洁，修整后的砂轮表面有个别凸起的磨粒；砂轮磨粒太粗、磨粒脆性大和砂轮软硬不均匀，磨粒容易脱落等。防止措施是：对切削液进行过滤，保持磨削液无磨屑、磨粒和灰尘；砂轮修整后要用大流量的磨削液对砂轮工作表面进行冲洗，或先进行试磨，待凸出的磨粒脱落后再进行正式磨削；合理选择砂轮和修整用量；将砂轮两边角修整成台阶或圆角，以防止砂轮尖角处磨粒脱落。合理选择磨削用量；工件要达到前工序规定的表面粗糙度；调整切削液喷嘴位置改善冲洗效果。
(4)圆柱形工件产生螺旋痕或平面形工件产生直线痕。其产生原因是：砂轮修整不当，或修整时砂轮主轴翘头或低头；砂轮与工件相对位置产生偏移；砂轮在宽度方向硬度不均匀。防止措施是：合理选择修整用量，在修整时要加大磨削液流量；安装砂轮架时，要使砂轮主轴翘头约0．005／~oomm，待砂轮安装后，使砂轮轴接近于水平；提高砂轮架的刚性，减小砂轮架受力后的偏转；在丁艺系统刚性不足时，应减少磨削用量；工作前开车空运转一段时间，待机床达到热平衡后，再进行修整砂轮或开始工作；更换砂轮。
(5)烧伤。其主要原因是砂轮修整过细和过钝，磨削深度大，进给过快和磨削液的冷却效果差。防止措施是：砂轮磨钝后应按要求及时修整砂轮；减小磨削深度和进给速度，适当提高工件速度；调整磨削液喷嘴位置，使磨削液进入磨削区，提高冷却效果。
