用于高速旋转MEMS微引擎动态特性研究的光学测量技术进展
开发能以每分钟100万转高速旋转、用于微机电系统（MEMS）的微引擎已成为当今微机械学中最具挑战性的课题之一。为了能细化和优化微引擎的设计，对动态测试技术...
aishukong 9年前1127 高速旋转 MEMS微引擎 光学测量技术
