1．光电脉冲编码器
维护要点：防振和防污（内部松动和信号丢失）；
联结松动（影响位置精度、进给运动的不稳定、伺服电机换向引起振动）。
2.感应同步器
(1).电磁感应式的高精度位移检测元件
组成：定尺和滑尺上有矩形绕组
(2).维护要点:
安装时保持定尺和滑尺的相对平行；
不要损坏耐切削液涂层和带绝缘层 的铝箔；
滑尺接线要分清SIN和COS绕组。
3.旋转变压器
(1).输出电压与转子的角位移有固定的函数关系,用做角度测量元件.
(2).维护注意点
定子和转子阻值不同不要接错、碳刷磨损要及时更换.
4.磁栅尺
组成：磁性标尺、磁头和检测电路.
维护注意点: 不能将磁性膜刮坏、不能用力和撞击磁性标尺和磁头避免磁性减弱或磁场紊乱、接线时分清磁头上激磁绕组和输出绕组.