故障现象：一台配套FANUC 11ME系统的加工中心，在长期使用后，X轴作正向运动时发生振动。
分析与处理过程：伺服进给系统产生振动、爬行的原因主要有以下几种：
1)机械部分安装、调整不良。
2)伺服电动机或速度、位置检测部件不良。
3)驱动器的设定和调整不当。
4)外部干扰、接地、屏蔽不良，等等。
为了分清故障部位，考虑到机床伺服系统为半闭环结构，脱开电动机与丝杠的连接后再次开机试验，发现故障仍然存在，因此初步判定故障原因在伺服驱动系统的电气部分。
为了进一步判别故障原因，维修时更换了X、Y轴的伺服电动机，进行试验，结果发现故障转移到了Y轴，由此判定故障原因是由于X轴电动机不良引起的。
利用示波器测量伺服电动机内装式编码器的信号，最终发现故障是由于编码器不良而引起的；更换编码器后，机床恢复正常工作。