数控机床的几何误差主要包括螺距/光栅误差和轴向、轴间误差，主要的测量方法如下：

1、螺距/光栅误差

对于螺距测量，将测量行程平均分为N个点，然后激光干涉仪运动到第n个点，获得此点的正方向误差，并在该点多次测量求误差平均值，形成双向误差补偿数据。

2、轴向、轴间误差测量

右图是对角线法测量原理图。

测量3组对角线，解方程组，可得到所需的补偿值：

DEx(x)、DEx(y) 、

DEx(z) 、DEy(y)、DEy(x)、DEy(z)、DEz(z) 、DEz(x) 、DEz(y)。

利用激光干涉仪测量机床各个轴的21项几何误差项，再经过转换形成单轴误差补偿数据和轴关系误差补偿数据。