1 前言现代科学技术所使用的硬脆材料，如单品硅、功能材料、陶瓷、宝石和光学玻璃等，对这些材料进行超精密加工，并获得很好的面形精度和超光滑表面部是很难...
1 微光学概述1.1 定义与名称微光学是一门属于多门前沿学科交叉领域的新兴科学。微光学借助于微电子工业技术的最新研究成果，是国际上最前沿研究方向之一，并...
在过去的几十年里，很少有其它检测仪器像光学投影比较仪那样测量快捷、使用方便。光学投影比较测量是将投射到投影屏上的工件放大轮廓与绘制有按比例放大的工...
1 引言反求工程（或称逆向工程）是一门发展迅速的新兴技术。实物反求技术被用于基于已有产品实物的产品再设计，或对一些无法用数字化手段直接表述和设计、而...
开发能以每分钟100万转高速旋转、用于微机电系统（MEMS）的微引擎已成为当今微机械学中最具挑战性的课题之一。为了能细化和优化微引擎的设计，对动态测试技术...
